产地类别: 国产
靶材材质: 金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属
靶材尺寸: 57 mm
控制方式: 手动、自动
样品仓尺寸: 128×130(mm)
样品台尺寸: 63mm直径,12个SEM底座插孔
溅射气体: 氩气/空气
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1.技术参数:
输入电压 | AC220V±10%,50Hz |
工作电压 | DC2400V |
最大功率(主机与机械泵) | 500W |
工作原理 | 磁控溅射 |
可选靶材 | 金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属 |
真空泵 | 两级直联旋片式真空泵 1L/s |
真空腔 | φ128×130mm |
样品杯 | φ90×1 / φ25×4 / φ15×6 |
整机尺寸(长×宽×高) | 424×271×255(mm) |
重量(主机) | 11 kg |
工作环境 | 温度 5~40℃,湿度<60% |
存储环境 | 温度-10~60℃,湿度<80% |
工作气体 | Air / Ar |
保护功能 | 过流、真空双保护 |
2.效果图:
2.1 陶瓷滤膜铂靶10万倍( SU5500 ):
2.2 喷金样品电镜观测图对比
GVC-2200: 样品形貌真实完整:
其他设备喷金的效果图(热损伤严重):
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 需要安装调试的
免费仪器保养: 根据需要提供
保内维修承诺: 上门维修调试
报修承诺: 及时上门维修调试
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