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能量范围: 200 eV 至 20 keV
光束电流/光斑尺寸:
标准:1 nA 至 100 μA/15 mm 至 50 mm
高电流:10 nA 至 1 mA/15 mm 至 50 mm
安装: 2?CF
特性/选项:可调光束对准、广角均匀光束、发散控制、磁偏转、光束清洗、自定义孔径、脉冲、双网格
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 无
免费培训: 首次
免费仪器保养: 视情况而定
保内维修承诺: 非人为原因,免费维修并更换所需配件
报修承诺: 24小时内给出回应
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