水平对轴耦合系统 耦合对准系统 耦合系统

FA-HA101

左：X，Y，Z，θX，θY

光准直器类器件

FA-HA102

左：X，Y，Z，θX，θY，θZ

右：θX，θY

光隔离器耦合、CWDM介质膜贴片、CWDM反射端耦合

FA-HA103

左：X，Y，Z，θX，θY

右：θX，θY

CWDM透射端耦合

左调整架

5轴

6轴

5轴

右调整架

-

2轴

2轴

中间载物台

固定

-

-

夹具配置

管式夹具

管式夹具

管式夹具

视觉观察

1路

2路

2路

视觉测量

-

-

-

UV固化设备

选配

选配

选配

点胶设备

选配

选配

选配

光检测设备

标配

标配

标配

左调整架

X轴

行程(mm)

30

30

30

分辨率(μm)

1

1

1

Y轴

行程(mm)

20

20

20

分辨率(μm)

1

1

1

Z轴

行程(mm)

70

70

70

分辨率(μm)

1

1

1

θX轴

行程(°)

±5

±5

±5

分辨率(°)

0.005

0.005

0.005

θY轴

行程(°)

±5

±5

±5

分辨率(°)

0.005

0.005

0.005

θZ轴

行程(°)

-

±8

-

分辨率(°)

-

0.005

-

右调整架

X轴

行程(mm)

-

-

-

分辨率(μm)

-

-

-

Y轴

行程(mm)

-

-

-

分辨率(μm)

-

-

-

Z轴

行程(mm)

-

-

-

分辨率(μm)

-

-

-

θX轴

行程(°)

-

±5

±5

分辨率(°)

-

0.005

0.005

θY轴

行程(°)

-

±5

±5

分辨率(°)

-

0.005

0.005

θZ轴

行程(°)

-

-

-

分辨率(°)

-

-

-

视觉观察

工作距离(mm)

86

86

86

视场大小(mm×mm)

0.9×0.7~8×6

0.9×0.7~8×6

0.9×0.7~8×6

放大倍数

0.6~5.0

0.6~5.0

0.6~5.0

UV固化设备

波长范围(nm)

365~405

365~405

365~405

峰值照射强度(mw/cm²)

400~3200

400~3200

400~3200

功率调整范围

0~100%

0~100%

0~100%

控制方式

IO控制

IO控制

IO控制

点胶设备

点胶时间（s）

0.001~9.999

0.001~9.999

0.001~9.999

精确度

±0.5%

±0.5%

±0.5%

最小滴量(ml)

0.01

0.01

0.01

基础规格

电源(v)

AC220

AC220

AC220

尺寸(m×m×m)

0.8×0.6×1.5

0.8×0.6×1.5

0.8×0.6×1.5

重量(kg)

140

140

140