产地类别： 进口
靶材材质： Pt, Pt-Pd（8：2）, Au, Au-Pd（6：4）
靶材尺寸： 60mm
控制方式： 自动
样品仓尺寸： 100mm
样品台尺寸： Φ60 mm
溅射气体： Ar/ Air
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| Features · LCD touch panel makes it easy to set the processing conditions. · Thick or large specimens can be processed(Option). Recipe functions to store commonly used processing conditions. |
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1:Coating rate is reference only.
*2:Target is not included in the main body. Please choose from the options.(Pt, Pt-Pd, Au, Au-Pd).
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 免费现场培训
免费仪器保养: 1次
保内维修承诺: 整机保修1年
报修承诺: 2小时电话响应，24小时上门服务
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