¥80万 - 100万
Nanoscope system
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NS3500
亚洲
产地类别： 进口
仪器种类： 转盘共聚焦显微镜
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NS3500三维激光共聚焦显微镜
NS-3500是一种精确、可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构，如半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等方面拥有无可比拟的解决方案。
Features & Benefits（性能及优势）：
高分辨率非破坏性光学三维测量
实时共焦成像
多种光学变焦
同时进行亮场和共焦成像
自动获取最佳聚焦位置
倾斜补偿
简易分析模块
精确可靠的高速高度测量
通过半透明基板检测特征
无样品准备
大范围图像拼接检测
Software（软件）：
Image stitching（图像拼接）：
对于大范围的检测，可使用自动XY平台和NS-3500图像拼接软件NSMosaic对预测的区域进行连续测量和图像拼接。拼接后的图像可以作为一个单一的测量结果进行分析。
Application field（应用领域）：
NS-3500是测量高度、宽度、角度、面积和体积的一种有效的解决方案，例如：
-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺
- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度
- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形
-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案
-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析
Specifications：
Model | Microscope NS-3500 | 备注 | |||||
Controller NS-3500E | |||||||
物镜倍率 | 10x | 20x | 50x | 100x | 150x | ||
观察/ 测量范围 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 | 93 | |
垂直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | 70 | ||
工作范围: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | 0.2 | ||
数值孔径(N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | 0.95 | ||
光学变焦 | x1 to x6 | ||||||
总放大倍率 | 178x to 26700x | ||||||
观察/测量光学系统 | 针孔共聚焦光学系统 | ||||||
高度测量 | 测量扫描范围 | 精细扫描 : 400 μm (and/or) 长扫描 : 10 mm [NS-3500-S] | 注 1 | ||||
长扫描 : 10mm [NS-3500-T] | |||||||
显示分辨率 | 0.001 μm | ||||||
重复率 σ | 0.010 μm | 注 2 | |||||
宽度测量 | 显示分辨率 | 0.001 μm | |||||
重复率 3σ | 0.02 μm | 注 3 | |||||
帧记忆 | 像素 | 1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 | |||||
单色图像 | 12 bit | ||||||
彩色图像 | 8-bit for RGB each | ||||||
高度测量 | 16 bit | ||||||
帧速率 | 表面扫描 | 20 Hz to 160 Hz | |||||
线扫描 | ~8 kHz | ||||||
自动功能 | 自动对焦 | ||||||
激光共焦测量光源 | 波长 | 紫光激光, 405nm | |||||
输出 | ~2mW | ||||||
激光等级 | Class 3b | ||||||
激光接收元件 | PMT (光电倍增管) | ||||||
光学观察光源 | 灯 | 10W LED | |||||
光学观察照相机 | 成像元件 | 1/2” 彩色图像 CCD 传感器 | |||||
记录分辨率 | 640x480 | ||||||
自动调整 | 增益, 快门速度, White balance | ||||||
数据处理单元 | 专用 PC | ||||||
电源 | 电源电压 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | |||||
电流消耗 | 500 VA max. | ||||||
重量 | 显微镜 | Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~12 kg) | |||||
控制器 | ~8 kg | ||||||
隔振系统 | 有源隔离器 | Option | |||||
精细和长距离扫描仪的双重扫描模式仅适用于NS-3500-S（单镜头类型）。
注1:精细扫描由压电执行器（PZT）执行。
注2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（步长1μm）进行100次测量。
注 3 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（5μm间距）进行100次测量。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 无
免费仪器保养: 1年一次
保内维修承诺: 软件免费升级
报修承诺: 24小时响应
