产品种类： 热式
产地类别： 国产
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GT160D气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪以及其他分析仪器。
技术特点
微处理器控制
GT160D气体质量流量控制器内部采用可编程未处理器控制，使用PID控制，可实现不同工况条件下进行高速精确的流量控制。
RS-484总线接口
质量流量控制器内置RS-485总线接口，可选择使用RS-485串口控制或按键控制两种模式。可通过RS-485总线组网，实现多台MFC同时控制。
标定方法
质量流量控制器执行JJG 1132-2017国家标准，所有产品均采用特定高纯气体标定，确保产品的精度。
可通过专用标定软件对气体质量流量控制器进行标定，只需将MFC通过RS-485总线与PC连接即可进行标定。
紧凑的外形尺寸
质量流量控制器尺寸非常小巧紧凑，用户使用时，不但能够减小系统体积和重量，同时能够集成更多的功能模块。
多气体多量程选择
质量流量控制器内部设置了多种气体模式（H2、N2、Air、Ar、He等），用户可根据用户手册及使用需求进行操作选择。同时，本公司提供择不同量程MFC产品，用户可根据需求进行选。
技术指标
项目 | 参数信息 |
最大量程 | 50sccm-500sccm(可定制) |
精度 | ±1%F.S. |
气体类型 | H2/He/N2/Air/Ar（可定制）） |
响应时间 | 1s |
压差范围 | <1MPa |
工作温度 | 0~50℃ |
工作湿度 | 0~95%R.H.（非冷凝） |
工作电压 | 24V±10%/12V±10% |
信号接口 | RS-485（Modbus） |
气路材质 | 不锈钢/铝合金/铝合金惰性涂层 |
气路接口 | 1/16 |
尺寸 | 55×46×22mm |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 免费培训
免费仪器保养: 随时免费仪器保养
保内维修承诺: 免费检修
报修承诺: 24小时内处理并提供解决方案
