仪器种类： 高温烘箱
产地类别： 进口
温度范围： 室温+50~360℃
温度波动： 0.5℃
外形尺寸： 1090x950x1540mm
内胆尺寸： 450x450x450mm
内胆材质： 不锈钢
加热方式： 热循环加热
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洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。
特点
最高工作温度360℃和500℃、洁净度100 级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO 固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。
采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100 级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。
高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2 消耗量极低。
通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。
标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。
安全性
拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检
测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏
电漏电保护开关等安装装置。
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 沈阳东软医疗系统有限公司 | 2017-03-08 |
| 上海泊燊医疗器械有限公司 | 2017-08-09 |
| 杭州巴泰医疗器械 | 2017-01-05 |
| 爱普科斯(珠海)有限公司 | 2021-02-09 |
| 美特科技（苏州）有限公司 | 2017-07-11 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 现场操作培训
免费仪器保养: 1年1次
保内维修承诺: 免费更换部件，玻璃制品和耗材除外
报修承诺: 24~48小时到达现场进行维修
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YAMATO 洁净厌氧高温气氛炉 DTN430C/630C/450C/650C洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。
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