产地类别: 进口
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TMC 主动隔振平台STACISIII是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS 采用先进的惯性振动传感器、复杂的控制算法和先 进的压电执行器,通过连续测量地板活动,然后扩展和收缩压电执行器以滤除地板运动,实时消除振动。
STACIS 最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备,现在是嘈杂环境中最敏感仪器的行业标准解决方案,包括但不限于半导体工厂、故障分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施, 和材料研究。
STACIS III 包括一个新的和改进的数字控制器 DC-2020。凭借新的双核处理器和以太网以及前后面板上的 USB 串行端口,这种新的高级控制系统为用户提供了现代且易于使用的图形用户界面 (GUI)。STACIS 在全球有数百个成功安装案例,是对振动最敏感的仪器的理想隔振系统。
特点&优点
STACIS 的刚度是空气隔振器的数百倍,不受空气隔振系统的任何限制。没有“软”悬挂,与主动空气系统不同,STACIS 可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方,两个系统都经过充分优化。
独特的串行设计和专有的高压压电技术
产生了从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽主动带宽和无与伦比的真正主动隔振,从 2 Hz 开始减振 90%。
性能:
4500 lbs (2045 kg) 有效载荷在 VC-C(500 μin./s,12.5 μm/s RMS)下通过模拟振动测试
活动自由度 | 6 |
活动带宽 | 0.6 赫兹 - 150 赫兹 |
无源固有频率 | 18 Hz 垂直和水平 |
有效有源谐振频率 | 0.5赫兹 |
1 Hz 时的隔离 | 40% - 70% |
≥2 Hz 时的隔离 | ≥90% |
10 lb (4.5 kg) 阶跃输入后的稳定时间(10:1 减少) | 0.3 秒 |
内部噪音 | <0.1 纳米 RMS |
每个隔离器的工作负载范围 | 低容量:400-1100 磅(182-500 千克) 中 容量:900-2100 磅(410-955 千克) 高容量:1900-4500 磅(864-2045 千克) |
刚度(1000 磅/454 千克质量,中等容量隔离器) | 40,000 磅/英寸。(73 x 10 5牛/米) |
从隔离器最 大 4 英寸(102 毫米)处发射的磁场 | <0.02 μG 宽带 RMS |
环境与安全 | 符合 CE 和 RoHS |
主动隔离元件 | 最小容量为 3300 lb. (1500 kg) 的压电执行器接收来自高压放大器的信号,输出电压高达 800 VDC。垂直致动器支持隔离的有效载荷。 |
无源隔离元件 | 单一刚性各向同性弹性体(无需压缩空气供应) |
振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器测量隔离器下方的地面振动并提供与振动运动速度成正比的电压 |
主动反馈控制回路 | 在支撑隔离表面的弹簧下方测量、处理和衰减地板振动 |
隔离器尺寸 (WxDxH) | 11.75 x 12.5 x 10.8 英寸 300 x 320 x 275 毫米 |
隔离器重量 | 75 磅(34 公斤) |
工作温度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
储存温度 | -40° - 130° F -40° - 55° C |
湿度 | 80% 最 大值在 68 华氏度(20 摄氏度),最 大露点:18 摄氏度 |
系统电源要求 | 100、120、230、240 伏交流电 50/60 赫兹交流电;<600 W 符合 CE 标准 |
地板位移 | <480 微英寸。(12 μm) 低于 10 Hz |
每个系统的隔离器数量 | 最少 3 个 |
选项 | 层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、升降机罩 |
尺寸(宽x深x高) | 19 x 8.5 x 1.75 英寸 483 x 216 x 45 毫米 |
重量 | 6.3 磅(2.9 公斤) |
处理器 | 150/75 MHz 双核 |
采样率 | 10 赫兹 |
模拟输出 | 16通道 |
模拟输入 | 16通道 |
状态灯 | 单灯 |
前面板端口 | 1x 串行 USB 2.0 1x 串行 Micro-USB 1x 以太网 RJ-45 2x BNC |
后面板端口 | 1x 串行 USB 2.0 1x 以太网 RJ-45 1x RS-232 DB-9 传统串行用于传统 STACIS 2100 隔离器 |
用户界面 | 前面板 LCD 显示 超级终端 扩展 GUI上的字符菜单Microsoft Windows Embedded Ethernet GUI |
应用照片:
注意:具体价格请咨询销售经理,网上标价不作为实际出售价格。
如果想了解更多产品信息以及价格货期,青岛森泉光电有限公司欢迎您的咨询。
我司提供优质可靠的产品和完善的售后服务,为您提供光电帮助。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 免费培训
免费仪器保养: 每年免费保养1次
保内维修承诺: 除人为原因外,免费维保
报修承诺: 24小时内到达现场
TMC STACIS& III主动隔振系统光学平台
型号:STACIS& III 1万 - 3万TMC 主动隔振系统光学平台
型号:Quiet Island& 面议TMC 65系列地面式光学平台
型号:65系列 1万 - 3万TMC 主动隔振基座光学平台
型号:SEM-Base® ;VI 1万 - 3万阻尼的概念(光学平台台面的作用):抑制共振,减少共振振幅 阻尼(damping)是指任何振动系统在振动中,由于外界作用或系统本身固有的原因引起的振动幅度逐渐下降的特性,以及此一特性的量化表征。 阻尼的作用主要有以下五个方面 : (1)阻尼有助于减少机械结构的共振振幅,从而避免结构因震动应力达到极限造成机构破坏; (2)阻尼有助于机械系统受到瞬时冲击后,很快恢复到稳定状态; (3)阻尼有助于减少因机械振动产生的声辐射,降低机械性噪声。许多机械构件,如交通运输工具的壳体、锯片的噪声,主要是由振动引起的,采用阻尼能有效的抑制共振,从而降低噪声; (4)可以提高各类机床、仪器等的加工精度、测量精度和工作精度。各类机器尤其是精密机床,在动态环境下工作需要有较高的抗震性和动态稳定性,通过各种阻尼处理可以大大的提高其动态性能; (5)阻尼有助于降低结构传递振动的能力。在机械系统的隔振结构设计中,合理地运用阻尼技术,可使隔振、减振的效果显著提高。
TMC光学平台STACIS III的工作原理介绍
光学平台STACIS III的使用方法?
TMCSTACIS III多少钱一台?
光学平台STACIS III可以检测什么?
光学平台STACIS III使用的注意事项?
TMCSTACIS III的说明书有吗?
TMC光学平台STACIS III的操作规程有吗?
TMC光学平台STACIS III报价含票含运吗?
TMCSTACIS III有现货吗?
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