核心参数

产品种类： 热式

产地类别： 国产

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产品介绍售后服务承诺用户评论问商家

GT130D气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气象色谱仪以及其他分析仪器。

产品特点

l 自带显示，可独立运行

l 质量流量控制器执行JJG 1132-2017国家标准

l 进口电磁比例阀，使用寿命更长

l 采用RS-485通信接口，可远程组网使用

l 紧凑型外观设计，节约更多空间

l 内置高精度MEMS传感器，测量控制更精准

l 所有产品均采用特定高纯气体标定，确保产品的精度

l 可通过专用标定软件对MFC进行标定校准

l 任意角度安装均不影响气体流量

l 专业团队，提供优质服务

快速的响应

专业的标定设备及标定测试软件

采用进口标定设备，所有出厂产品均严格执行检定规程

尺寸结构

接口定义

线号定义	参数	点号
RS-485+	485 A/+	1
RS-485-	485 B/-	2
电源地	GND	3
电源正极	+24V	4

参数信息

最大流量	50sccm - 5slpm（可定制）
气体类型	H₂/He/N₂/Air/Ar（可定制）
精度	±1%F.S.
响应时间	≤1s
气路材质	钝化316L不锈钢/铝合金表面氧化/铝合金惰性涂层
工作温度	0~50℃
工作湿度	0~95%R.H.（非冷凝）
电源	DC24V±10% / DC12V±10%
信号接口	RS-485（Modbus）
尺寸	60×26×80mm