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稀释气质量流量计可控制到0-10SLM;
源气质量流量计可控制到0-100SCCM;
2路校准口入口和1路吹扫口;
1路稀释气入口,3路输出口和1路排空口
稀释入口:1路标准;
源气入口:1路标准,1路吹扫;
稀释流量:0-10SLM(0-20SLM可选);
源气流量:0-100SCCM(0-2SLM可选);
流量精度:≤1%FS;
流量重复:≤±0.15%FS;
线 性:≤±0.5%FS;
响应时间:<1分钟;
操作:按键,键盘,串口,USB,以太网;
校准定义:20个工厂配置流路,每个流路可最大20个线性点;
校准类型:稀释气,臭氧,GPT;
仪器特点:
操作简单,方便;
温度显示稳定,可靠;
压力可调,面板带压力表;
可方便地放入渗透管。
性能参数
温度控制:基于微处理器的比例温控系统;
温度传感器:RTD;
前面板安装:调压器,压力表,温控器,稀释炉入口
特氟龙炉身尺寸:内径3.09cm,长度12.7cm,
温控范围:高于环境温度2℃到65℃,
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 0
免费仪器保养: 0
保内维修承诺: 0
报修承诺: 0
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