产地类别: 国产
旋转速度: 0-10000rpm
旋转精度: 0.1rpm
最大加速度: 50000rmp/s
基片直径: 220mm
腔体直径: 252mm
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安赛斯HC220PE匀胶机,适合8英寸及以下晶元旋涂,采用高精度伺服电机,触屏控制,可编程,不锈钢外壳,HDPE内腔,详细功能介绍,请联系安赛斯销售人员。
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产品介绍:
名称:安赛斯旋涂仪HC220PE
型号:HC220PE
产地:
应用:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
产品描述:
安赛斯旋涂仪HC220PE精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。
不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观;工业级别400瓦伺服电机系统,采用与track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中达到50000RPM/S的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。
性能指标:
· 主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)
· 旋涂程序:最多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒
· 转动速度:0-10,000rpm(更高速可选)
· 旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载)
· 马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm
· 转速调节精度0.1rpm,重复性< 1rpm
· 工艺时间设定: 0-3,000 sec/step,时间设置精度:0.1sec
· 支持wafer尺寸25px-200mm(8”圆晶)
· 旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)
产品优点:
· 内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸。
· 7"触屏控制面板操作系统,更方便操作。
· Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。
· 标准配置转速10000rpm,并可根据用户需要进行定制。
· 采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
· 机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,永不生锈,便于清洗。
· 排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。
· 透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。
产品外型尺寸:
444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H) – 标准设备结构
安賽斯(中国)有限公司是专业从事高端分析测试仪器销售、租赁、应用系统集成及相关配套服务的供应商。公司总部位于香港繁华的中环中心商务区,在中国大陆北京成立有独资公司――安赛斯(北京)科技有限公司。
安赛斯(北京)科技有限公司具有中华人民共和国A类资质的进出口企业,是国家税务局纳税诚信单位。公司始终坚持“诚信、专业”的发展理念,用全球视角,引入先进的技术与产品,为国内用户提供本地化的专业服务。
安赛斯公司凭借丰富的现货库存、庞大的营销网络和专业的服务经验,在多年行业服务的基础上,为广大用户提供高端分析测试仪器和配套技术服务;同时依托产品领先的技术优势和卓越性能,集合了自身的研发、系统集成优势,针对客户的测试需求提供个性化的应用解决方案。
公司的客户涉及高等院校、科研院所、航空航天、微电子、新能源、生物医药、节能环保等行业和领域。拥有具备丰富知识和专业经验的技术服务团队,致力于更好的为行业客户提供专业、便捷的本地化服务。
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用户单位 | 采购时间 |
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福州大学 | 2024-05-10 |
复旦大学 | 2024-05-05 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 关于使用和培训,及时电话响应
免费仪器保养: 免费保养技术指导
保内维修承诺: 质保期内,因质量问题导致的故障,免费返厂维修,免费更换部件。
报修承诺: 设备如有故障,及时电话响应,专人负责售后维修服务。
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HC160SE程控匀胶机,采用高级PLC 全自动程序控制,转速精度高,稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。
HC150SE匀胶机,采用高级PLC 全自动程序控制,转速精度高,稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。 特点: ? 设计紧凑,可放置在手套箱内。 ? HDPE内腔与不锈钢机身可分离,便于清洁和移动。 ? 4.3英寸彩色触屏控制,简单易用,运行状态实时显示。 ? 不锈钢外壳,美观耐腐蚀。 ? 经CNC一体加工成型的HDPE内腔,耐腐蚀,易清洁; ? 内腔壁采用独特的凹面设计,有效防溅; ? 高级PLC全自动程序控制,可编程; ? 带真空度安全互锁检测功能; ? 可设置用户密码保护功能; ? 配置可调基座,方便调节水平;
HC160PE程控匀胶机,采用高级PLC 全自动程序控制,转速精度高,稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。
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匀胶机安赛斯旋涂仪HC220PE的使用方法?
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这款匀胶机,小巧精致,触屏控制也非常方便,非常稳定,转速等控制也非常好,是我所购买的仪器设备中,非常中意的一款。