上海伯东KRI 考夫曼离子源 RFICP 200 HO
上海伯东KRI 考夫曼离子源 RFICP 200 HO

面议

暂无评分

考夫曼

暂无样本

RFICP 200 HO

--

美洲

  • 金牌
  • 第17年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

KRI 考夫曼离子源 RFICP 200 HO

KRI 考夫曼离子源 RFICP 200 HO

KRI Ion Source RFICP 200 HO 是一款大型的有栅极离子源,能够产生高密度的离子束,特别是在 1000 eV 或稍低的能量下获得极高密度的离子束,因此合适于像离子辅助沉积和离子束刻蚀这样的低能量的工艺。因为尺寸的大型化,使它更适用于较大覆盖区域和较高均匀性的要求,因此广泛应用在大型离子辅助的盒式镀膜机和较大尺寸 wafer 的离子刻蚀系统。

KRI Ion Source 有栅极离子源RFICP 200 HO, Gridded RF Ion Source产品规格



Model

RFICP 200 HO

Discharge

RF inductive

Filamentless

Yes

RF power

>1 kW

Ion optics

OptiBeamTM

Grids

Application specific

Alignment

Self-aligned

Neutralizer

Yes (options)

Power controller

RFICP ion Power Pack

Options


Beam Shape

Collimated, convergent, divergent

Water cooled

Yes

 

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王女士
T:                    T:
F:                         F:
M:                      M:
                    

伯东版权所有, 翻拷必究!


售后服务承诺

产品货期: 365天

整机质保期: 1年

培训服务: 提供付费培训

用户评论
暂无评论
问商家

考夫曼其它行业专用RFICP 200 HO的工作原理介绍

其它行业专用RFICP 200 HO的使用方法?

考夫曼RFICP 200 HO多少钱一台?

其它行业专用RFICP 200 HO可以检测什么?

其它行业专用RFICP 200 HO使用的注意事项?

考夫曼RFICP 200 HO的说明书有吗?

考夫曼其它行业专用RFICP 200 HO的操作规程有吗?

考夫曼其它行业专用RFICP 200 HO报价含票含运吗?

考夫曼RFICP 200 HO有现货吗?

上海伯东KRI 考夫曼离子源 RFICP 200 HO信息由伯东公司德国普发真空pfeiffer为您提供,如您想了解更多关于上海伯东KRI 考夫曼离子源 RFICP 200 HO报价、型号、参数等信息,上海伯东客服电话:400-860-5168转0727,欢迎来电或留言咨询。
移动端

仪器信息网App

仪器推广
返回顶部
仪器对比

最多添加5台