仪器种类: 进口等离子体表面处理仪
射频频率: 13MHz
功率: 650W
设备尺寸: 300mm
样品腔容积: 20L
样品腔材质: 不锈钢
工作气体: 2路
控制方式: 自动控制
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等离子体热处理炉为德国生产,具有等离子清洗、表面处理、材料表面修饰、材料热处理的功能。
仪器特点及基本参数:
具有等离子体清洗、表面修饰、表面处理、表面活化的功能;
具有真空能力(10-5mbar);
芯片倒装凸点(Bump);
凸点焊接;
键合;
功率器件焊接;
样品尺寸:170X200mm,或300x300mm;
温度:650摄氏度;
24支红外灯加热;
2路MFC气路;
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