仪器简介:
研究开发用最适合等离子清洗机
用途:
CSB/BGA/COB基板的等离子处理
有机膜和金属氧化膜的除去
印刷电路基板的干洗
界面活性处理
主要特点:
RIE模式标配(DP切换为选购)
等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面
技术参数:
型号 | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
模式 | RIE模式(DP选配) | DP模式 | DP/RIE切换方式 |
电极构造 | 平行平板电极(固定) | ||
高频输出功率 | MAX300W | Max 500W | |
频率 | 13.56MHz | ||
控制方式 | 自动联动,液晶触摸屏控制 | ||
反应室尺寸 | 400×250×150mm | 500×300×200 | |
电极尺寸 | 250×170mm | 400×200mm | |
反应室材质 | 一次性一体成型铝腔(防腐蚀,可对应CF4) | ||
反应气体 | 2系统(Ar/O2) | ||
填充气体 | N2/洁净干燥空气 | ||
反应气体流量控制 | 流量计 | 聚合控制器 | |
真空泵 | 另行选配 | KASHIYAMA Neodry30E(排气量500L/min) | KASHIYAMA Neodry30E(排气量500L/min) |
气体导入口 | 反应气体2套,填充气体1套 | ||
外型尺寸 | 540×600×600mm | 540×600×600mm | 700×700×700mm |
电源 | 单相AC100V 15A 50/60Hz | 三相AC100V 15A 50/60Hz |
YAMATO 等离子灰化仪 PR300/PR301
型号:PR300/PR301 3.5万YAMATO 台式半自动实验室器具清洗机AW47
型号:AW47 面议YAMATO 超音波吸液管-移液管清洗机 AW31
型号:AW31 5万 - 10万YAMATO进口全自动清洗机 AW62
型号:AW62 面议为了确保满足钟表行业对于产品的美观性、功能性和耐用性方面的高要求,等离子体的使用日益增加。由于能够在处理温度较低且间隙渗透性极高的情况下进行超精细清洗,故此等离子体的应用已变得越来越重要。
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