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电阻率(25°C 时为 MΩ·cm) |
18.2 Ultrapure Water 18.2 |
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TOC,ppb–使用 Quantum IX | < 30 | |
TOC,ppb–使用 Quantum EX | <10 | |
颗粒物 | 0.22µm 除菌过滤器 | |
尺寸(接有 10L 储水桶) | ||
高,cm (in.) | 45.7 (18) | |
宽,cm (in.) | 25.5 (10) | |
厚,cm (in.) | 50 (20) | |
操作重量(水箱装满),kg (lb) | 29.5 (65.0) | |
I 级水流速 (L/min) | 高达 0.6 | |
III 级水流速(L/h) | 高达 5 |
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