产地类别: 国产
靶材材质: 金
靶材尺寸: 直径50mm;厚度0.1mm
控制方式: 手动
样品仓尺寸: 直径160mm;高120mm
样品台尺寸: 直径50-70mm/可升降
溅射气体: 多种
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ETD-2000 型离子溅射仪外观沉稳大气,采用真空自动控制和真空保护电路,使操作和应用更加安全可靠。为扩大应用领域,可同时手动调整溅射仪的电离电流或手动调整其真空微调针阀,改变电离室的压强,获得最佳的喷镀效果。独特的真空橡胶压边密封结构,保证长期使用不会使钟罩边缘出现毛边而影响真空室中的真空度,陶瓷密封高压插头经久耐用。
工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及选择所需的电离气体,获得最佳镀膜效果。
ETD-2000型是一款最常用的离子溅射仪,是一切溅射仪的基础。是以金属靶材和样品台分别作为阴阳两极,在真空状态下产生辉光放电,使金原子与残存的气体不断碰撞而沉积成薄膜。可以使用Au,Pt,Cr、Al、Cu等靶材。
具有成膜均匀,操作简单,所需时间短,过程可控等优点。
配有高位定性真空泵
参数:
主机规格:305mm×365mm×325mm(W×D×H)
靶(上部电极):金:50mm×0.1mm(D×H)
靶材:Au(标配),也可根据实际情况配备银靶、铂靶等
样品室:硼硅酸盐玻璃160mm×120mm(D×H)
靶材尺寸:Ф50mm
真空指示表: 最高真空度:≤ 4X10-2 mbar
离子电流表: 最大电流:50mA
定时器: 最长时间:3600s
微型真空气阀:可连接φ3mm软管
可通入气体: 多种
最高电压: -1600 DCV
输入电压:220V(可做110V),50HZ
机械泵:标准配置2L/S(国产VRD-8)
特点:
1、简单、经济、可靠。
2、可调节溅射电流和真空室压强以控制镀膜的速率和颗粒的大小。
4、真空保护可避免真空过低造成设备短路。
5、同时可以通过更换不同的靶材(金、铂、铱、银、铜等),以达到更细颗粒的涂层。
6、通过通入不同的惰性气体以达到更纯净的涂层。
7、数字计时器定时自由方便。
8、计时器可随时停止,观察样品涂层,并可继续工作。
9、可调节样品台,适用于多种样品。
需要镀膜的样品
1、电子束敏感的样品:
主要包括生物样品,塑料样品等。S EM中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料,那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下,用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用,防止此类损伤;
2、非导电的样品:
由于样品不导电,其表 面带有“电子陷阱”, 这种表面上的电子积累 被称为“充电”。为了 消除荷电效应,可在样 品表面镀一层金属导电 层,镀层作为一个导电 通道,将充电电子从材 料表面转移走,消除荷 电效应。在扫描电镜成 像时,溅射材料增加信 噪比,从而获得更好的成像质量。
3、新材料:非导电材料和半导体材料
产品货期: 10天
整机质保期: 2年
培训服务: 额外提供免费培训
安装调试时间: 到货后10天内
电话支持响应时间: 12小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 1天内
节假日是否提供上门服务: 否
核心零部件货期: 5天
核心零部支持时间: 2年
是否支持上门巡检: 否
是否提供预防性维护计划: 否
是否提供期间核查方案: 否
是否提供免费应用支持: 否
是否提供付费应用支持: 是
是否提供线上售后平台: 是
维修付款方式: 先维修后付款
基本维修资料公开: 故障代码
无理由退换货: 不支持
ETD 系列离子溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的,最简单、可靠、经济的镀膜设备。 适用于电镜实验室的扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极制作。
ETD-2000/3000 型离子溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的,最简单、可靠、经济的镀膜设备。 适用于电镜实验室的扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极制作。
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