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等离子体监控系统
PlasCalc 等离子体监测控制仪，实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量，通过高级过程控制系统及精密数据存取算法，只需3ms就可以获得测量结果。
1、光学分辨率1.0nm(FWHM)
2、光谱范围 200-1100nm
3、快速的建模及存储实验方法
Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实验方法。对一些困难的等离子体工序诸如膜沉积测量、等离子体蚀刻监测、表面洁度监测、等离子体室控制及异常污染、排放监测等，能够快速简单的构建模块过程控制。
随PlasCalc配置的操作软件，集成的程式编辑器能够容易实现多种数学算法功能。可选的波长发生器（可以单独购买）用于类型确认，而波长编辑器可以用于优化信噪比。双窗口界面用于显示实际光谱及所有过程控制信息。
| 光谱范围: | 200-1100 nm |
| 光学分辨率: | 1.0 nm (FWHM) |
| D/A 转换: | 14 bit |
| 数字I/O: | 8 x TTL |
| 模拟输出: | 4 x [0-10V] |
| 接口: | USB 1.1 |
| 功耗: | 12 VDC @ 1.25 A |
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