基本信息
电子级六氟乙烷;电子级六氟乙烷电子级氟碳;全氟乙烷;氟里昂116
Ethane,hexafluoro- (8CI,9CI); Ethyl hexafluoride; F 116; F 116 (fluorocarbon); FC 116;FC 1160; Freon 116; HFC 116; Hexafluoroethane; PFC 116; Perfluorocarbon 116;Perfluoroethane; R 116
76-16-4
200-939-8
物化属性
电子级六氟乙烷(76-16-4)的性状: 1.无色,不可燃气体,不溶于水,溶于乙醇。沸点-78.2℃,熔点-100.6℃,临界温度19.7℃,常温下(19.7℃)是压缩气体。 2.化学性质不活泼,在600℃以下与石英不反应,在842℃下还不全部分解。在处理六氟乙烷过程中,可按无毒气体处理,但与可燃气体一同燃烧时,分解产生有毒的氟化物。
安全信息
S38:在通风不良的场所,佩戴合适的呼吸装置。
其他信息
电子级六氟乙烷(76-16-4)的用途: 用于微电子工业中仵等离子蚀刻气体,以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷。
1.电子级六氟乙烷(76-16-4)的制备方法: 1.采用活性炭直接氟化工艺路线。 2.在装有活性炭的反应炉中缓慢通入高浓氟气,通过控制电加热,供氟速率和冷却反应炉来控制反应温度。反应产物经过除尘、碱洗、脱水后,可获得含CF4 80%左右、含C2F6 10%~15%,含C3F8 4%~6%的粗品,然后把粗品混合物进行间歇低温精馏,在釜温为-45~-35℃提取C2F6,用分子筛进一步进行低温吸附脱水,可获得纯度大于99.7%的C2F6。 2.质量标准: 核工业理化工程研究院标准指标名称 指 标六氟乙烷(C2F6)/10-6 ≥ 99.99一氧化碳(CO)/10-6 ≤ 5二氧化碳(CO2)/10-6 ≤ 5氧(O2)/10-6 ≤ 5氮(N2)/10-6 ≤ 20水(H2O)/10-6 ≤ 5其他氟氯烷烃/10-6 ≤ 50酸度/10-6 ≤ 0.1充瓶压力通常低于12.5MPa,有4L、8L容器(铝合金)。3.包装及贮运: 六氟乙烷对金属和合金不腐蚀,可用钢瓶和铝合金容器装运,按压缩气体运输,对气瓶每五年检验一次。国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输,国内目前无规定。4.毒性与防护: 可视为无毒气体,但与可燃气体一同燃烧时,分解产生有毒的氟化物。发现中毒时,应立即将受害者转移到无污染区,必要时施以人工呼吸,请医生诊治。5.安全性: 本品可引起快速窒息。应与易燃、可燃物分开存放。远离火种、热源。接触后引起头痛、恶心和眩晕。储存于阴凉、通风仓库内。发现中毒时,应立即将受害者转移到无污染区,必要时施以人工呼吸,请医生诊治。防潮、防晒。可视为无毒气体,但与可燃气体一同燃烧时,分解产生有毒的氟化物。大鼠吸入80%(20%为O2)×4h,近似致死浓度。6.参数: 1、疏水参数计算参考值(XlogP):2 2、氢键供体数量:0 3、氢键受体数量:6 4、可旋转化学键数量:0 5、常温常压下稳定避免氧化物,对环境有危害,对水体和大气可造成污染,对大气臭氧层有极强破坏力。常温,阴凉通风处。