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CAS号:75-73-0
| 中文名称： | 四氟甲烷;四氟化碳 | ||
| 英文名称： | Carbon tetrafluoride | ||
| 分子式： | CF4 | 分子量： | 88.00 |
| CAS No： | 75-73-0 | EINECS号： | 200-896-5 |
四氟甲烷;四氟化碳
Tetrafluoromethane;FC 14;Halocarbon 14;Refrigerant R 14
75-73-0
1S/CF4/c2-1(3,4)5
200-896-5
-184ºC
-128ºC
无色无臭无味气体。熔点-150℃（-184℃），沸点128℃，密度1.96g/cm3。微溶于水。对热非常稳定，化学性质比四氯化碳更不活泼。
S38：在通风不良的场所，佩戴合适的呼吸装置。
S38：在通风不良的场所，佩戴合适的呼吸装置。
UN1982
用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。
由碳与氟反应，或一氧化碳与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，或二氟二氯甲烷与氟化氢反应，或四氯化碳与氟化银反应，或四氯化碳与氟化氢反应，都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行，反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体，再通过冷冻，用硅胶除去气体中的水分，最后经精馏而得成品。