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半导体行业TOC对水质的影响

简介：超纯水是半导体行业在清洁与生产晶圆时所采用的最有效的强溶剂。在过去的四十年中，电子行业蚀刻到硅芯片上的电路数量发生了指数性增长。电路数量的增加大大减小了线宽，因此，对超纯水系统准确且持续测量的要求更高。
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