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通过单颗粒光学传感（SPOS）对CMP浆料进行超灵敏的在线监测

简介：我们已经开发了一个强大的工具，可以对CMP浆料进行连续的在线监控。我们的新AccuSizer 780 / OL系统基于单颗粒光学传感（SPOS）技术，可以快速，准确地确定大于0.5微米的“异常”颗粒的粒径分布（PSD），这可能会导致严重的缺陷。抛光过程中的晶圆表面。 PSD中这些大颗粒“尾巴”的来源包括浆液分配系统中的泵和过滤器不良，以及由于pH或热冲击引起的胶体不稳定性的发生，以及其他影响。
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