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如何克服因地面振动影响光刻系统的图案质量？

简介：  为了减少振动，弹性体垫块被有效地用金属垫片短路，从而导致更刚性、非共振结构，但这几乎没有改善。振动标准不符合任何版本的基座和模式，质量仍然很差。         基座支撑结构被移除，并 详细>
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  • 上传日期：2021-02-05
相关产品：TMC 主动振动与运动消除系统 | TMC主动气浮隔振光学平台 | TMC 主动隔振基座光学平台 | TMC 65系列地面式光学平台
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