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在线质谱在氢气准确定量中的应用

简介：本研究建立了在线质谱仪准确测定氢气浓度的定量分析方法。通过对内、外管路和真空腔进行清洗，以及增加清洗气通道，优化了在线质谱仪进样清洗方法。通过单通道和多通道切换检测不同浓度的氢气，对仪器的性能进行了考察。优化清洗系统解决了氢气易返回不易抽走的问题，确保了检测结果的准确性。氢气的检出限达到0.001%，在0.005%~5.000%的浓度范围内线性关系良好。该方法可以广泛应用于氢气含量快速、多位点同时监测。
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