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QCM石英晶体微天平

简介:Gamry公司销售多种QCM产品,从较为基础的eQCM 10M,到可以测量耗散,获得多个倍频下信息的耗散型QCM-I系列,让用户有了更多选择。耗散型石英晶体微天平是石英晶体微天平的扩展型,是一种用于测量真空或气相中表面质量变化的技术。可以实时测量芯片表面上吸附或损失的质量,因此非常适合测量诸如电子半导体器件或光学薄膜等薄膜沉积过程中膜的形成速率以及厚度。
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