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微波等离子化学气相沉积系统-MPCVD-技术介绍

简介：微波等离子化学气相沉积技术（MPCVD）, 通过等离子增加前驱体的反应速率，降低反应温度。适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量硬质薄膜和晶体。 MPCVD是公认的制备大尺寸单晶金刚石有效手段之一。德国iplas公司的 CYRANNUS&# 详细>
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