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反射光谱法计算薄膜厚度

简介：薄膜的反射扫描会生成干涉条纹。各波长范围内的条 纹数量取决于反射角、薄膜厚度和薄膜折射率。如折 射率已知，则在一个折射角采集的数据足以计算薄膜 厚度；如折射率未知，在两个折射角所采集的数据可 用于计算折射率和薄膜厚度。所有计算均在电子数据 表格中自动完成，以便技术人员操作。采用分光光度 计得到的结果与折光仪测得的结果良好吻合。
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