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小型台式无掩膜光刻机—技术参数

简介： 小型台式无掩膜光刻系统是英国Durham Magneto Optics公司专为实验室设计开发，尺寸仅有70cm X 70cm X 70cm，可以加工大直径200mm的样品,高分辨率可达0.6μm，为微流控、SAW、半导体、自旋电子学等研究领域提供方便高效的微加工方案。
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  • 上传人： QUANTUM量子科学
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相关产品：小型台式无掩膜光刻机-Micro
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