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岛津光电子能谱技术表征太阳能电池缓冲层结构

简介：采用团簇枪模式刻蚀，可以很大程度避免离子还原；同轴无阴影荷电中和系统能保证高分辨率，本文采用 XPS 技术成功完成了太阳能电池基底修饰层的表征，通过全谱结果分析可进行表面元素的初步判定，进一步分析表面存在的各元素化学状态，表征了氧化钼修饰层的结构。
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