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COXEM台式电镜在化学领域应用（中文）

简介：在氧化铝（Al2O3）和二氧化钛（TiO2）基底上，利用悬浮等离子喷涂技术，喷涂氧化钇涂层（Y2O3）。这一技术，已经具备了广泛的应用价值。例如，应用于半导体材料抗氧化或抗磨损方面，其样品必须具备抗磨损性。氧化钇具备低蚀刻速率，但由于其成本较高，逐步被高纯度陶瓷材料所取代。以下两幅图像显示的是，使用低能量密度的等离子，将氧化钇涂覆在氧化铝上。
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  • 上传人： 北京欧波同光学技
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