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飞纳电镜操作过程自动化:背散射电子和二次电子混合像

简介:当电子束与样品相互作用时,会产生背散射电子(BSE)和二次电子(SE)。通过检发射信号可获得样品表面的成分衬度像(背散射电子)和表面形态像(二次电子)。背散射电子和二次电子是如何形成的,为什么它们携带特定的样品信息?此外,能否在一幅图像中同时获得成分和形态信息?
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