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利用Park NX系统的全自动原子粒显微镜测量及分析

简介：多年来，为了不断满足市场需求和同比更快更高效的设计，半导体元件尺寸已经达到甚至小于1X纳米节点。元件制造方法一直在提高，从2006年的65纳米达到了2014年的14纳米1X节点。国际半导体技术路线图目前预测第一个替代1X的7纳米元件或许会在2017 详细>
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相关产品：Park NX-Hivac 帕克原子力显 | Park systems NX-Wafer 原子 | Park NX12原子力显微镜 | Park NX20 原子力显微镜
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