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使用扫描电容显微术（SCM）和扫描开尔文探针显微术（SKPM）成像的半导体器件的电学表征

简介：由于半导体器件（如晶体管、二极管以及集成电路）在电路系统中的重要性，半导体器件构成了现代电子学的基础。这些半导体器件应用广泛。最普遍的应用是设计和制造1）常见的模拟设备，如无线电广播设备以及2）数字电路，用于计算机硬件。[1]影响半导体 详细>
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