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数字全息显微镜DHM检测分析MEMS陀螺仪谐振频率

简介：MEMS器件谐振频率测量常规方法是采用多普勒激光测振仪，主流激光多普勒测振仪测量面外运动精度为5pm，与DHM精度相仿；而DHM检测面内运动精度达到了1nm，远超MEMS激光测振仪的精度。
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