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FIB-SEM小知识—气体注入系统（GIS）

简介： FIB-SEM双束电镜不仅仅是将聚焦离子束与扫描电镜集成于一体，更重要的是通过集成其他辅助系统使FIB-SEM的加工及分析功能更加丰富。下图是TESCAN LYRA3 FIB-SEM样品室内部的照片，可以看到不同的部件的安装情况。其中气体注入系统GIS是FIB-SEM的基本配置之一，GIS在FIB-SEM中起着非常重要的作用。
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