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RF 源，射频等离子源的氮化物应用（English）

简介：射频等离子源（RF 源）在现在的分子束外延生长中应用是非常普遍的。其中氮化物，氧化物的RF源应用最多。本文是RF 氮气源在GaN生长中的一些应用资料。其中提到了Ga源的生长温度，和RF源的流量及功率信息。

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