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微加工研究人员如何使扫描电镜来表征纳米结构

简介：微加工能制造出微米尺寸的结构特征，是制造新一代半导体、处理器以及芯片实验室微流系统的关键工具，其中芯片实验室的微流系统建立在化学分析系统上，小到能够放在手心上。目前为止，微加工依赖于掩模技术，例如光刻，使得可生产结构的多样性受到 详细>
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