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GaN薄膜低温外延的ECR-PAMOCVD技术.PDF

简介：给出了用电子回旋共振微波等离子体辅助金属有机化学汽相沉积(ECR2 PAMOCVD) 技术和在低温(≤600℃)、极低气压(≤1Pa) 下生长GaN 外延膜的装置、 工艺及实验结果。并与以往的GaN 外延技术进行了比较, 说明了这种新的低温外延技术 的独特优点。
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