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浅谈飞纳电镜能谱一体机在EMS工厂失效分析中应用

简介：飞纳台式扫描电镜能谱一体机在 EMS工厂中失效分析的主要应用为： 放大观察样品表面缺陷、对缺陷部位进行点、线、区域、面扫等的元素定性半定量分析等。同时飞纳台式扫描电镜能谱一体机对工作环境无特殊要求，使用简便和六硼化铈灯丝的稳定性，也满足了工厂高效率的要求。
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