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日立离子研磨仪IM4000在OLED领域的应用

简介：多层OLED器件结构较为复杂，在有机与无机材料层界面间容易产生内应力，导致在弯曲时造成层与层间的剥离，这使得生产大尺寸柔性OLED面板时的良品率极低，日立的离子研磨仪IM4000的截面加工效果优异，独特的离子束汇聚离子枪设计及样品摆动设计，加工效率高，低损伤的特点，实现对OLED截面观察有效的监控产品的合格率。
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  • 上传人： 天美（中国）科学仪
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