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晶体硅硅片、规定以及工艺过程中lifetime测试技术.pdf上传成功

简介：晶体硅硅片、规定以及工艺过程中lifetime测试技术 体硅生产的工艺流程详解 硅材料是当前最重要的半导...源瓶更换的标准操作过程。依次关闭 进气阀门、出气...光照或电流注入导致硅片中的硼和氧形成硼氧复合
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