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使用RBST115清洗TIMS离子源及样盘

简介:清洗工艺开发的一般原则 对于使用水基清洗剂,我们一般需要遵循以下的三个基本原则: - 考察清洗剂与器件的材质相容性。在本案例中由于器件的材质是不锈钢、陶瓷。对碱性清洗剂具有较好的耐受性,所以可以选择中等碱性的RBS T 115清洗剂。 - 详细>
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