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溅射离子泵的工作过程

简介： 首先, 电源启动, 在阴阳极板间产生高压。由于级间距离很近, 根据E=U/d 可知, 电场强度E数值非常大, 尤其在阳极筒壁边缘处。在强大的电场和与之平行的磁场作用下, 电子以螺旋线方式高速运动, 由于电子运动行程的增加, 大大提高了与气体分子碰撞的几率。电子在空间与气体分子碰撞产生正离子和二次电子, 产生的电子继续与气体分子碰撞产生新的正离子和电子。此种放电称为潘宁放电, 潘宁放电能在很低的压强下进行。
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