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海能仪器:硫磷混酸体系用于半导体研磨剂(液)微波消解(微波消解法) 下载
海能仪器:硫磷混酸体系用于半导体研磨剂(液)微波消解(微波消解法)
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简介:磨削和研磨等磨料处理是生产半导体晶片必要方式,抛光和平面化对生产微电子原件来说是十分重要的。因此研磨剂的配方以及研磨剂的品质管控,对于半导体产品影响深远。我们需要找到一种有效的成分分析方法,来解决研磨剂成分分析。下面,本文以某研磨剂为样本,探索研磨剂的微波消解方法。
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