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SEM在MEMs中的应用

简介：是德科技的FE-SEM 8500采用热场发射电子枪，为用户提供高亮度、高分辨的成像性能。独特的设计使其可以在1kV条件下达到优于10nm的分辨率。创新的全静电透镜设计保证了重复性，并无需定期的调校。FE-SEM 8500提供多种成像模式：包括二次电子成像、背散射电子成像和形貌成像。
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