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光电子能谱仪（XPS）的自动双束中和功能

简介：当用XPS仪器分析绝缘样品时，样品表面必须保持电中性，即样品表面无静电荷分布。假设样品表面分布有静电荷，就会导致光电子飞出的动能发生变化。通常表面荷电会导致光电子动能减小，即结合能向高端偏移。 为了很好的解决这个问题，ULVAC-PHI公司的XPS设备增加了双束中和枪的功能，中和枪为绝缘样品荷电区域提供了稳定的荷电补偿。
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