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用PEALD等离子增强原子层沉积系统制备Ge2Sb2Te5薄膜

简介：利用等离子增强原子层沉积系统PEALD来沉积（Ge2Sb2Te5）GST薄膜，The application of plasma power was essential in obtaining a high growth rate and stoichiometric GST thin films. The chemical composition of the films was proper 详细>
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