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应用纳米压入仪（NHT）测量集成电路中金质连线的性质

简介：应用纳米压入仪（NHT）测量集成电路中金质连线的性质。展示了纳米压痕仪在微电子领域的应用。 瑞士CSM仪器公司 ----- 材料及其表面机械性质检测仪器领域的全球领导者。CSM仪器公司总部位于瑞士，在美国和德国设有分公司，在全球各主要国家拥 详细>
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