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高级朗缪尔探针(Langmuir Probe)在等离子体诊断中的应用

简介:ESPion高级Langmuir探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断,是最先进可靠的 Langmuir 探针。 应用: · 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体 · 脉冲等离子体操作 · 离子 详细>
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