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SPECTRO ARCOS在多晶硅行业的应用

简介：综上所述，在太阳能级的多晶硅中要求P≤0.0017ppm，B≤0.027ppm，Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ca、Mg、Al等金属元素含量为ppm级，这些元素的分析常有的仪器有ICP或者ICP-MS分析，但一般的ICP对P、B的灵敏度不够，不能快速有效地分析这两个元素；用四级杆ICP- MS分析样品时，氩离子会跟其它离子.....多晶硅中的P、B两个元素，所以多晶硅分析项目应以该仪器为首选。
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