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俄歇电子能谱的历史、现状与展望

简介：本文简述了俄歇电子能谱的历史、现状与展望；提出了研究中的一些问题，讨论了用俄歇电子能谱仪以及数据处理系统分析仪获得的表面分析参数，包括灵敏度、侧向和深度分辨率及取样深度等。
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